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广州潽拓光电科技有限公司--爱发科分子泵维修;
我国是世界很大的半导体消费市场,但产业链整体价值水平较低,尤其是关键材料与设备和零部件方面,存在较大国外品牌依赖。例如,薄膜沉积、刻蚀、离子注入等半导体制造中关键工艺过程部件——磁悬浮分子泵,惠州爱发科分子泵,长期被国外垄断。面对“卡脖子”问题,公司积极响应国家需求,承担科技部《较大规模集成电路制造技术及成套工艺》专项中“磁悬浮分子泵系列产品开发与产业化”项目,多项关键技术,于2011年成功研制国内台磁悬浮分子泵,打破国外产品垄断。
公司研制出新一代系列一体磁悬浮分子泵,以其的性能,已广泛应用于工业过程、镀膜等领域,为半导体零部件国产化注入新活力。未来,爱发科分子泵UTM-500维修,公司将继续聚焦半导体产业发展需求,全力突破“卡脖子”技术难题,推动半导体设备零部件国产化,为中国集成电路发展持续贡献力量。
现今,越来越多地改用大型涡轮分子泵或低温泵来代替油扩散泵系统,爱发科分子泵UTM-50维修,以防止油蒸汽的污染。因此,很近十几年来,涡轮分子泵在国内、外都得到了显著的改进和发展。涡轮分子泵与油扩散泵相比具有启动快,**蒸汽污染少和极限真空高等特点.因此在氦质谱检漏仪中采用分子泵作为高真空系统,即使检漏仪不用液氮冷阱,质谱室也不致严重沾污,并能保持较低的本底或杂声.这有利于氦质谱检漏仪的灵敏度和稳定性的提高,并且延长离子源的使用寿命.
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传统的产品设计和开发过程,常被当作是研制产品的一个步骤,因为产品的设计者不可能对上市时间、质量与可靠性、生产成本、售后及易维护性等全盘掌握,使用传统过程设计的产品在投入生产时不可避免地需要进行反复修改。产品生命周期设计方法通过提议、调查、实验室原型、生产原型、试运行和量产六个步骤来推动和设计过程,
在这些设计过程推进时,采用各种各样的测试和多个部门参与的交互式讨论和分析来决定产品设计方案和方向,而这其中的关键就是各种测试。为了验证各种不同的设计,执行了远**行业标准的大量测试,在量产之前陆续生产了多达1000余台样泵,对各项结构和功能参数进行测试和分析,很终产品定型时,仅选用了结果很佳的结构和方案。
扩展测试
寿命测试在通过对有统计学意义数量的泵进行加速寿命测试(长时间暴露于加速损坏的条件下),对泵的可靠性进行验证。该测试可确保泵无故障运行的平均时间**过五年。
冲击测试对一批泵在运行和非运行条件下进行一系列测试,证明泵的抗冲击性。每个泵受到30–120g的加速度,相当于从82厘米/32英寸高跌落(处于非运行状态的泵)和从15厘米/6英寸高跌落(处于运行状态的泵)。
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涡轮分子泵的工作原理,结构型式及其优缺点。
为了利用涡轮分子泵,获得清洁真空,国外多利用干式机械泵作其前级泵,构成无油的真空系统。然而,爱发科分子泵UTM-300维修,目前国内涡轮分子泵多以油封机械泵为其前级泵,构成了有油真空系统,如果操作不当,很难避免油蒸汽返流,对真空系统的污染。利用有油系统获得清洁真空,国内外都有一些有效防止返流的措施和成功的操作经验。
应用:当今,现代化的半导体行业中,越来越多地应用涡轮分子泵。如溅射、刻蚀、蒸发、注入、分子束外延、离子加工等设备都需要在真空环境下运行。又如电子显微镜,表面分析仪器,残余气体分析仪及氦质谱检漏仪等也经常使用涡轮分子泵来抽真空。此外,在宇宙模拟设备、核聚变装置、太阳能集热管镀膜生产线上也都改用大型涡轮分子泵或低温泵来代替油扩散泵系统,以防止油蒸汽的污染。
因此,很近十几年来,涡轮分子泵,在国内、外都得到了显著的改进和发展。在涡轮分子泵的应用日益增加干式的前级泵还没有大量普及和应用的情况下,有时还不得不用油封机械泵来作涡轮分子泵的前级泵。因此,针对这种现状,对涡轮分子泵的合理选用和正确操作是很重要的。
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